PZTのペロブスカイト構造

優秀な有鉛ペロブスカイトだが、代替品として非鉛系材料が研究されている。

非鉛系ペロブスカイト酸化物原料調整法

実験操作（原料調製）

母材 [NKLN06]　(Na_0.5K_0.5NbO₃)_0.06(LiNbO₃)_0.94 置換材 [BCN]　Ba(Cu_1.33Nb_0.66)O₃

固溶体粉 [NKLNBCN] [(Na_0.5K_0.5NbO₃)_0.06(LiNbO₃)_0.94 Ba(Cu_1.33Nb_0.66)O₃]：MnO₂

精秤

↓

湿式混合粉砕

↓

　　　　仮焼　800℃､2h

↓

仮焼粉末

↓

湿式混合粉砕

↓

　　　　　　　　乾燥　１０５℃　２ｈ

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　　　　　　　　整粒　１２０メッシュ

↓

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　本焼成　１０００℃−１１５０℃　[固溶体粉]

固溶体粉はペロブスカイト構造ではない。

タブレットに加工し、スパッタで飛ばす。基板上で結晶構造物が成膜される。